박막공학
- 세종대학교
- 이원준
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박막공학의 소개
차시별 강의
| 1. | |
박막공학의 소개 |  |
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소개(2) | |
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| 2. | |
2장 진공이란? | |
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| 3. | |
기체분자의 운동 | |
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| 4. | |
펌프게이지 | |
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| 5. | |
진공시스템 | |
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| 6. | |
3장 Evaporation(1) | |
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| 7. | |
4장 플라즈마 물리기초(1) | |
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플라즈마 물리기초(2) | |
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| 8. | |
5장 DC Sputtering(1) | |
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DC Sputtering(2) | |
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| 9. | |
6장 Etching(1) | |
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| 10. | |
7장 CVD(1) | |
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CVD(2) | |
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| 11. | |
7장 ALD | |
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| 12. | |
CVD 박막의 특성 | |
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| 13. | |
8장 Al 배선 | |
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| 14. | |
Cu 배선기술 | |
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| 15. | |
미래배선기술 | |
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9장 박막물성 분석 | |
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