마이크로시스템 설계 및 제작
- 전남대학교
- 이신신
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- 주제분류
- 공학 >기계ㆍ금속 >기계공학
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- 등록일자
- 2011.02.28
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- 조회수
- 7,812
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이 수업은 재료, 물성치, 제작 공정, 기본 구조역학, 센싱 및 구동기 원리, 회로 시스템, 패키징, 보정 그리고 테스트를 인지하는데 필요하다.
- 수강안내 및 수강신청
- ※ 수강확인증 발급을 위해서는 수강신청이 필요합니다
마이크로시스템 소개 1
차시별 강의
| 1. | |
마이크로시스템 소개 1 | 강의소개 |  |
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마이크로시스템 소개 1 - 1 |  |
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마이크로시스템 소개 1 - 2 | |
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| 2. | |
마이크로시스템 소개 2 | 시스템소형화 개념 | |
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마이크로시스템 소개 2 - 1 | |
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마이크로시스템 소개 2 - 2 | |
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| 3. | |
제작 내용 1 | 시스템소형화 1 | |
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제작 내용 1 (강의노트) | |
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| 4. | |
제작 내용 2 | 시스템소형화 2 | |
|
제작 내용 2 (강의노트) | |
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| 5. | |
마이크로시스템 예 1 | 마이크로시스템 설계 example 1 | |
|
마이크로시스템 예 1 (강의노트) | |
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| 6. | |
마이크로시스템 예 2 | 마이크로시스템 설계 example 2 | |
|
마이크로시스템 예 2 (강의노트) | |
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| 7. | |
마이크로시스템 예 3 | 마이크로시스템 설계 example 3 | |
| 8. | 중간 고사 | |||
| 9. | |
마스크 설계 프로그램 사용 | L-edit 사용방법 및 마스크 설계주안점 | |
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마스크 설계 프로그램 사용 (강의노트) | |
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| 10. | |
포토리소그라피, 산화 및 스퍼터링 | 단위공정 1 | |
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포토리소그라피, 산화 및 스퍼터링 (강의노트) | |
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| 11. | |
코너 보상 패턴 설계 | 단위공정 2 | |
|
코너 보상 패턴 설계 (강의노트) | |
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| 12. | |
팀 프로젝트 발표 | 멤스분야 주제 발표 | |
| 13. | |
공정 표 및 마스크 설계 | 압력센서 마스크 설계 | |
| 14. | |
마스크 및 소자 제작 | 단위공정 실험 1 | |
| 15. | |
소자 제작 1 | 단위공정 실험 2 | |
| 16. | |
소자 제작 2 | |
|
| 17. | |
소자 제작 3 | |
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