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MEMS 입문

  • 주제분류
    공학 >기계ㆍ금속 >기계공학
  • 강의학기
    2012년 1학기
  • 조회수
    10,093
  •  
마이크로에서 나노크기의 feature size를 갖는 초소형기전시스템(MEMS, Micro Electro Mechanical Systems)의 설계, 이론 및 이의 제작을 위한 각종 마이크로머시닝기술에 대하여 강의한다. 반도체 제작에 사용되는 각종 공정의 기본적인 이해와 MEMS 구조물 제작에 필요한 새로운 제작기술들에 대하여 소개하고 MEMS 기술로 만들어진 각종 마이크로 센서 및 액추에이터, 그리고 그 응용에 대하여 강의한다.

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운영자2017-12-04 15:17
KOCW운영팀입니다. 현재 울산대학교로의 연결은 잘 되고 있습니다. 다시 한 번 접속해 보시기 바랍니다.
gg***** 2017-12-04 11:35
해당 url로 연결이 안됩니다.
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