박막공학
- 세종대학교
- 이원준
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- 주제분류
- 공학 >정밀ㆍ에너지 >반도체학
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- 강의학기
- 2013년 2학기
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- 조회수
- 44,694
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- 평점
- 3.3/5.0 (3)
박막 생성의 원리, 박막공정, 박막장비, 박막재료의 미세구조 분석 및 박막의 특성 등에 대하여 강의한다.
- 수강안내 및 수강신청
- ※ 수강확인증 발급을 위해서는 수강신청이 필요합니다
박막공학개요
차시별 강의
| 1. | |
박막공학개요 |  |
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| 2. | |
진공 | |
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진공 | |
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| 3. | |
진공 시스템 | |
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진공 시스템 | |
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| 4. | |
Evaporation 증착법 | |
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| 5. | |
플라즈마 물리의 기초 | |
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| 6. | |
DC 플라즈마 | |
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DC 플라즈마 | |
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| 7. | |
RF 플라즈마 | |
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| 8. | |
Sputtering 증착법 | |
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Sputtering 증착법 | |
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| 9. | |
플라즈마 에칭 | |
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| 10. | |
박막의 성장 | |
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| 11. | |
기타 박막증착법 (팀프로젝트 발표) | |
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기타 박막증착법 (팀프로젝트 발표) | |
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| 12. | |
반도체 배선용 박막공정 | |
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반도체 배선용 박막공정 | |
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| 13. | |
디스플레이/태양전지용 박막공정 | |
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디스플레이/태양전지용 박막공정 | |
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