MEMS 기초
- 전남대학교
- 이동원
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- 주제분류
- 공학 >기계ㆍ금속 >기계공학
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- 강의학기
- 2013년 1학기
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- 조회수
- 13,597
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멤스의 정의, 설계 및 제작 등에 관한 기초지식과 미래의 지능기계를 위한 센서의 연구 및 개발동향 등, 센서에 관한 전반적인 내용을 다룬다
차시별 강의
| 1. | |
MEMS 소개 | 강의 과정 및 내용 소개 |  |
| 2. | |
센서의 응용 | 멤스의 정의 및 응용 | |
| 3. | |
제작 공정 | 멤스의 특성 및 표면 미세가공 | |
| 4. | |
전기적, 기계적 개념 | 전도도, 응력 및 변형 | |
| 5. | |
센서의 해석 및 설계 | 마스크 설계 및 FEM 해석 | |
| 6. | |
멤스 설계 및 제작 요약 | 클리닉 공정 및 포토리소그라피 | |
| 7. | |
실리콘의 다양한 식각 방법 | 등방성 식각과 이방성 습식 식각 | |
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