| 1. | |
MEMS 소개 | 강의 과정 및 내용 소개 |  |
| 2. | |
센서의 응용 | 멤스의 정의 및 응용 | |
| 3. | |
제작 공정 | 멤스의 특성 및 표면 미세가공 | |
| 4. | |
전기적, 기계적 개념 | 전도도, 응력 및 변형 | |
| 5. | |
센서의 해석 및 설계 | 마스크 설계 및 FEM 해석 | |
| 6. | |
멤스 설계 및 제작 요약 | 클리닉 공정 및 포토리소그라피 | |
| 7. | |
실리콘의 다양한 식각 방법 | 등방성 식각과 이방성 습식 식각 | |
대구광역시 동구 동내로 64(동내동 1119) 우)41061
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