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  • 주제분류
    공학 >전기ㆍ전자 >전자공학
  • 강의학기
    2015년 2학기
  • 조회수
    16,570
  • 평점
    1/5.0 (1)
강의계획서
강의계획서
Silicon CMOS 필수 공정에 대해 이해하고 차세대 MOSFET 공정에 대한 이해

차시별 강의

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1. 비디오 Introduction 집적회로 공정이란 무엇인가 URL
2. 비디오 집적회로공정 개요 집적회로 공정에 대한 전반적인 설명 URL
비디오 집적회로공정 개요 집적회로 공정에 대한 전반적인 설명 URL
3. 비디오 반도체 공학기초 1. Dopants 2. Calculation of carrier concentration 3. Mobility and resistance URL
비디오 반도체 공학기초 1. Sheet resistance (Rs) 2. Local oxidation of silicon (LOCOS) URL
4. 비디오 Isolation과 contact issue 1. Isolation methods 2. Contacts 3. Process flow of MOSFETs URL
비디오 Isolation methods 1. Local oxidation of silicon (LOCOS) 2. Shallow trench isolation (STI) 3. Thermal oxidation URL
5. 비디오 Oxidation 1. Thermal oxidation 2. Properties of thermal SiO2 3. Modeling of thermal oxidation URL
6. 비디오 Oxidation 1. Modeling of thermal oxidation 2. Effect of impurities 3. Dopant redistribution URL
7. 비디오 Oxidation Oxide charges URL
비디오 Oxidation 1. Oxidation recipe 2. Oxidation source/method URL
8. 비디오 Ion implantation 1. Ion implantation 2. Concentration and dose 3. Energy loss mechanism URL
비디오 Ion implantation 1. Dose vs. concentration 2. Junction depth 3. Sheet resistance of ion implanted layer 4. Ion channeling URL
9. 비디오 Ion implantation 1. Ion channeling 2. Implantation damage 3. Dopant activation URL
비디오 Diffusion 1. Dopant diffusion 2. Diffusion mechanisms in Si 3. Diffusion process modeling URL
10. 비디오 Diffusion 1. High concentration diffusion effect 2. Oxidation enhanced diffusion (OED) 3. Sheet resistance URL
비디오 Gate stack 1. Gate leakage current 2. Tunneling mechanisms 3. Evaluation of gate dielectric thickness 4. Equivalent oxide thickness (EOT) 5. High-k gate dielectric URL
11. 비디오 Gate stack 1. Gate leakage current 2. Tunneling mechanisms 3. Evaluation of gate dielectric thickness 4. Equivalent oxide thickness (EOT) 5. High-k gate dielectric URL
12. 비디오 Photolithography 1. Photolithography 2. Photomask layout 3. Photoresist / lift-off 4. Theory of photolithography URL
13. 비디오 Metallization 1. Interconnection RC time delay 2. Contact resistance 3. Aluminum metallization URL
14. 비디오 Metallization 1. Problems of aluminum metallization 2. Silicide process 3. Surface planarization 4. Damascene process URL
비디오 Metallization/Scaling of CMOS 1. Self-aligned source and drain 2. Lightly doped drain (LDD) 3. Salicide process 4. Scaling trend of CMOS URL

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