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반도체제조공학

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  • 주제분류
    공학 >정밀ㆍ에너지 >반도체학
  • 강의학기
    2024년 1학기
  • 조회수
    2,033
  •  
강의계획서
강의계획서
반도체 공정 중 박막의 합성 및 증착에 관하여 학습한다. 박막과 관련된 열역학적 이론 및 확산 이론 등을 공부하고, 공정 기술 및 관련 장비에 대해 소개하여 박막 증착 기술에 관한 다양한 지식을 학습한다.
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1. 비디오 Introduction URL
비디오 박막공학개요 URL
2. 비디오 기체 동역학 URL
비디오 기체 동역학 URL
3. 비디오 진공 URL
비디오 진공 URL
4. 비디오 진공 시스템, Evaporation 증착법 URL
5. 비디오 플라즈마 물리 기초 URL
비디오 플라즈마 물리 기초 URL
6. 비디오 DC 플라즈마, RF 플라즈마 URL
7. 비디오 Sputter 증착법 URL
10. 비디오 Chemical vapor deposition (CVD) URL
12. 비디오 Atomic layer deposition (ALD) URL
비디오 Atomic layer deposition (ALD) URL
14. 비디오 3차원반도체 박막공정 URL
비디오 3차원반도체 박막공정 URL
15. 비디오 박막분석기술 URL
비디오 박막분석기술 URL

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