박막공학특론

강의상세

현재 모든 부품이 소형화 경량화되면서 박막화가 진행되고 이에 따른 박막공정을 정확히 습득하여 기업에서 필요로 하는 우수한 인재를 키우는데 있다.

1.	박막증착의 개론	개론
2.	Vacuum의 원리	진공도
3.	Vacuum Pump의 원리 및 작동	각종 배큠 펌프의 원리
4.	Chemical Vapor Deposition(CVD)의 원리	CVD 의 원리 및 응용
5.	Chemical Vapor Deposition(CVD)의 원리	CVD 의 원리 및 응용
6.	PECVD, ECR, CVD 등의 원리	PECVD, ECR, LPCVD
7.	CVD의 응용: in situ graphene growth at low temperature without transfer	CVD 를 이용한 무 전사 그래핀 성장
8.	CVD의 응용: N-doped grahene TFT	CVD 의 응용으로서 N-doped graphene TFT
9.	Atomic Layer Deposition의 원리 및 응용	원자증착법의 원리 및 응용 수행
10.	Sputtering의 원리 및 응용	다양한 스퍼터법과 그들의 응용