1. | 박막증착의 개론 | 개론 | ||
2. | Vacuum의 원리 | 진공도 | ||
3. | Vacuum Pump의 원리 및 작동 | 각종 배큠 펌프의 원리 | ||
4. | Chemical Vapor Deposition(CVD)의 원리 | CVD 의 원리 및 응용 | ||
5. | Chemical Vapor Deposition(CVD)의 원리 | CVD 의 원리 및 응용 | ||
6. | PECVD, ECR, CVD 등의 원리 | PECVD, ECR, LPCVD | ||
7. | CVD의 응용: in situ graphene growth at low temperature without transfer | CVD 를 이용한 무 전사 그래핀 성장 | ||
8. | CVD의 응용: N-doped grahene TFT | CVD 의 응용으로서 N-doped graphene TFT | ||
9. | Atomic Layer Deposition의 원리 및 응용 | 원자증착법의 원리 및 응용 수행 | ||
10. | Sputtering의 원리 및 응용 | 다양한 스퍼터법과 그들의 응용 |