반도체 장비

청주대학교
오데레사

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주제분류

공학 >정밀ㆍ에너지 >반도체학
강의학기

2011년 1학기

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반도체 장비는 크게 반도체 확상공정 장비, ALD. CVD, 스퍼터, 에처, 지공층착 장비 등이 있는데 진공챔버의 형성을 기본으로 하고 있다. 장비를 다루기 위해서는 진공의 원리를 올바로 이해해야 하고 반도체 장비에 대한 총괄적인 시스템의 이해를 위해서는 반도체 소자를 직접 만들어보면서 반도체 장비를 직접 경험하는 것이 필요하고 장비가 운영되는 원리를 이해하는 일이 필요하다. 태양전지 셀공정은 확산공정, 열처리 공정, 금속공정. CVD 공정으로 이루어지는 반도체 장비의 전반적인 공정을 이해하는데 좋은 아이템일 될 수 있다. 태양전지셀 공정의 이론을 통하여 반도체 장비에 대하여 전문적인 지식을 습득하고 이해한다.