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  • 주제분류
    공학 >전기ㆍ전자 >전기전자공학
  • 등록일자
    2009.10.01
  • 조회수
    5,592
  •  
아래와 같은 소자의 제작 공정과 소자 특성에 대해서 이해한다.;

1. CNT-Field emission을 이용한 소자 제작과 동작원리 이해

2. MEMS 기술을 이용한 센서 제작과 나노 재료를 이용한 소자 개발

3. MEMS/NEMS 공정 기술 개발

차시별 강의

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1. 문서 MEMS의 소개 MEMS 기술의 소개 URL
2. 문서 MEMS의 개념, 이론 MEMS 기술의 소개 URL
3. 문서 MEMS 공정 MEMS 기술의 소개 URL

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