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주제분류
공학 >전기ㆍ전자 >전기전자공학
등록일자
2009.10.01
조회수
5,983
아래와 같은 소자의 제작 공정과 소자 특성에 대해서 이해한다.;
1. CNT-Field emission을 이용한 소자 제작과 동작원리 이해
2. MEMS 기술을 이용한 센서 제작과 나노 재료를 이용한 소자 개발
3. MEMS/NEMS 공정 기술 개발
차시별 강의
1.
MEMS의 소개
MEMS 기술의 소개
2.
MEMS의 개념, 이론
MEMS 기술의 소개
3.
MEMS 공정
MEMS 기술의 소개
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