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반도체제조공학

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  • 주제분류
    공학 >정밀ㆍ에너지 >반도체학
  • 강의학기
    2024년 2학기
  • 조회수
    3,025
  •  
강의계획서
강의계획서
반도체 소자를 실제로 제작하는 여러 가지 모듈 집적공정을 배움으로서 반도체 소자/제작의 개념을 심화시킨다.
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1. 비디오 Introduction URL
비디오 반도체 기초 URL
2. 비디오 DRAM URL
비디오 DRAM URL
3. 비디오 pMOS공정 URL
비디오 Silicon Oxidation URL
4. 비디오 열산화-Deal-Grove 모델 URL
비디오 Linear rate constant URL
5. 비디오 Oxide Charges URL
비디오 Lithography URL
6. 비디오 Lithography Parameter URL
비디오 Plasma Parameters URL
7. 비디오 Optical Proximity Correction URL
비디오 Plasma URL
9. 비디오 PECVD URL
비디오 Oxide wet etch URL
10. 비디오 Silicon etch URL
비디오 Interstitial, dopant 확산 계수 URL
11. 비디오 Beamline system URL
비디오 Ion Channeling URL
12. 비디오 Arriving Angle URL
13. 비디오 Dielectric CVD 공정 URL
비디오 박막 특성 URL
14. 비디오 TiN PVD URL
비디오 CMP basics URL
15. 비디오 배선공정 URL
비디오 MOSFET URL

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