진공 및 박막공학

강의상세

진공 및 박막공학

진공의 정의

1.	진공의 정의	진공 및 기체의 일반적인 성질에 대하여 학습한다.
2.	진공설비 학습	진공 및 기체제어를 위한 진공설비에 대하여 공부한다.
3.	박막의 개요	화학 및 전기화학적 박막의 기초 제조기술에 대하여 공부한다.
4.	CVD 박막의 제조기술	화학증착법, CVD, 원리, 설비, 증착이론에 대하여 공부한다
5.	PVD 박막의 증착 기술	PVD 기초이론과 Thermal evaporator, E-beam 기술에 대해 공부한다.
6.	Sputtering 박막의 제조기술	Sputtering의 기초 이론과 실제 기술에 대하여 공부한다.
7.	박막의 세정 및 패턴기술	박막의 세정과 패터닝 기술에 대하여 공부한다.
8.	박막의 측정기술	제조한 박막의 다양한 두께 측정 기술에 대하여 공부한다.
9.	진공박막 형성기구	박막 형성 기구에 대하여 공부한다.
10.	진공박막 형성기구	핵자 형성에 대한 모델에 대하여 공부한다
11.	진공박막 형성기구	섬들의 성장과 합체에 대하여 공부한다
12.	진공박막 형성기구	박막의 결정학적 구조에 대하여 공부한다.
13.	박막의 특성	박막의 열적, 역학적, 부착성, 전기적 자기적 특성에 대하여 공부한다.
14.	박막의 첨단기술	ALD 기술 및 원리, 그리고 제조과정에 대해서 공부한다.