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  • 주제분류
    공학 >정밀ㆍ에너지 >반도체학
  • 강의학기
    2023년 2학기
  • 조회수
    468
  •  
강의계획서
강의계획서
반도체 집적회로의 제조공정에 관하여 폭넓은 이해를 갖도록 하여 향후 반도체 분야의 산업계로 진출하거나 관련 연구를 수행하는데 도움이 되도록 합니다. 이를 위해 우선 반도체 산업의 역사 및 현황에 대해 알아보고, 집적회로 제조공정의 전체적인 흐름을 숙지한 다음, 제조공정을 구성하는 단위공정들(crystal growth, cleaning, lithography, oxidation, diffusion, ion implantation, thin film deposition, etching, back-end processing 등)에 대해서 공부합니다. 각 단위공정에 대해서 개념, 역사, 현재기술 및 향후발전방향의 순으로 살펴봅니다. 또한 Term Project를 통해 반도체집적회로 제조공정의 설계능력을 배양합니다.
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