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  • 주제분류
    공학 >정밀ㆍ에너지 >반도체학
  • 강의학기
    2009년 1학기
  • 조회수
    5,364
  •  
반도체소자 제조공정의 개요를 파악한다. 소자제작을 위한 단위공정의 장치,원리,가공재료등을 알아보고,집적회로 공정의 흐름을 이해한다.

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1. 문서 서론,반도체 산업 강의 및 진행 소개 URL
2. 문서 반도체 재료 및 용액 반도체공정 재료 및 화학약품 URL
3. 문서 결정성장 및 웨이퍼 가공 웨이퍼 단결정성장법과 웨이퍼 가공공정 URL
4. 문서 청정실 청정실 URL
5. 문서 웨이퍼가공 개요 및 수율 웨이퍼가공 개요 및 수율 URL
6. 문서 산화막 성장 산화막 성장 장치 및 공정 URL
7. 문서 사진식각공정 사진식각공정 장치 및 공정 URL
8. 문서 사진식각공정 사진식각공정 장치 및 공정 URL
9. 문서 도핑 도핑공정 장치 및 공정 URL
10. 문서 박막증착기술 박막증착기술 장치 및 공정 URL
11. 문서 유전체박막증착 유전체박막증착 장치 및 공정 URL
12. 문서 금속박막 증착 금속박막 증착 장치 및 공정 URL
13. 문서 측정및 분석 측정및 분석 장치 및 측정 URL
14. 문서 집적회로공정 집적회로공정 URL
15. 문서 집적회로공정 집적회로공정 URL

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