강좌 소개 수업내용 4차 산업혁명의 핵심 동력인 사물인터넷(IoT)의 구현을 위한 다양한 센서 및 구동기의 구동 원리를 알아보도록 하며, MEMS 기반 센서 및 구동기의 제작 공정, 디자인 및 다양한 응용 분야에 대하여 학습한다. 또한 센서 및 구동기 의 실제 구동을 위한 신호 처리 및 시스템에 관한 내용을 학습한다. 수업목표 1. 사물인터넷(IoT)의 구현을 위한 다양한 센서 및 구동기의 구동 원리를 설명할 수 있다. 2. MEMS 기반 센서 및 구동기의 제작 공정, 디자인 및 다양한 응용 분야에 대하여 학습할 수 있다. 3. 센서 및 구동기 의 실제 구동을 위한 신호 처리 및 시스템에 관한 내용을 설명할 수 있다. 수강신청 기간 2021.8.16 ~ 2021.11.12. 예시 강의 강좌 계획 강의계획표 주차 주제 강의명 1주차 센서 및 MEMS 소개 1. 다양한 분야에 쓰이는 센서 소개 2. 센서 및 멤스의 역사 및 동향 3. 센서 및 멤스의 재료 소개 2주차 센서의 정량적 제원 분석 및 이해 1. 옴의 법칙 및 회로기초 복습 2. 센서의 정량적 제원 소개 3. 상용센서의 제원 분석 3주차 센서 및 구동기의 원리 1 1. 압저항 센서의 이해 2. 압전 센서의 이해 3. 정전용량형 센서의 이해 4주차 센서 및 구동기의 원리 2 1. 열 센서의 이해 2. 전자기적 센서의 이해 3. 광학적 센서의 이해 5주차 멤스 센서 및 구동기 제작 공정 도입 1. 벌크 마이크로 머시닝 공정의 이해 2. 표면 마이크로 머시닝 공정의 이해 3. 진공 시스템 소개 및 이해 6주차 멤스 센서 및 구동기 제작 공정 : 리소그래피 공정 1. 포토 리소그래피 공정 소개 및 이해 2. 포토 리소그래피 공정 특징 및 한계점 3. 차세대 리소그래피 공정 소개 7주차 멤스 센서 및 구동기 제작 공정: 증착 공정 1. 박막 증착 공정 소개 및 종류 2. 물리적 기상 증착 공정의 이해 3. 화학적 기상 증착 공정의 이해 8주차 중간고사 온라인 중간고사 9주차 멤스 센서 및 구동기 제작 공정: 식각...