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  • 주제분류
    공학
  • 강의학기
    2025년
  • 조회수
    271
  •  
강좌 소개수업내용/목표본 강좌는 나노공정의 다양한 원리와 방법론을 익히고,이에 대한 기본적인 이해를 바탕으로 공정(fabrication)을 넘어서 생산(manufacturing)을 위한 방법과 새로운 시도에 대해 공부하여 주체적으로 나노공정을 제시할 수 있도록 한다.홍보/예시 영상강좌 운영 계획강 좌 명나노 공정과 생산학습목표본 강좌는 나노 공정의 다양한 원리와 방법론을 익히고, 이에 대한 기본적인 이해를 바탕으로 공정(fabrication)을 넘어서 생산(manufacturing)을 위한 방법과 새로운 시도에 대해 공부하여 주체적으로 나노공정을 제시할 수 있도록한다.교재 및 참고자료 ⦁PDF 자료 제공 주차별 수업계획주차주차명(주제)주차별 학습 목표차시차시명강좌운영방법학습내용수업방법평가방법학습자료1나노공정 소개 (Introduction tonanofabrication이번 주차를 학습한 학습자는 나노공정을 크게 어떻게 분류하고, 그 안에 세부적으로 어떤 나노공정들이 있는지 설명할 수 있을 것입니다.1-1나노공정의 전반적인 소개(General introduction tonanofabrication)강좌영상(15분×1개)퀴즈PDF 제공1-2나노공정에 대한 소개(탑다운 공정)(Introduction to top-downnanofabrication강좌영상(20분×1개)퀴즈PDF 제공1-3나노공정에 대한 소개(바텀업 공정)(Introduction to bottom-upnanofabrication강좌영상(16분×1개)퀴즈PDF 제공2나노공정기초(1)(Basisofnanofabrication(1))이번 주차를 학습한 학습자는 일반적인 나노구조체를 만들기 위한 반도체 공정의 초기 단계를 이해하고 설명할 수 있을 것입니다.2-1포토리소그래피(Photolithography)강좌영상(17분×1개)퀴즈PDF 제공2-2포토리소그래피 심화(Advanced techniques ofphotolithography)강좌영상(24분×1개)퀴즈PDF 제공2-3박막증착 (화학증착법)(Chemica...

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