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MEMS 특론

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  • 주제분류
    공학 >정밀ㆍ에너지 >나노공학
  • 등록일자
    2009.10.13
  • 조회수
    10,638
  • 평점
    5/5.0 (1)
This graduate/senior undergraduate course introduces engineering and science students to the science of miniaturization. Different options to make very small machines (micro and nano size) are reviewed, materials choices are discussed, scaling laws are analyzed and many practical applications are reviewed.
Introduction
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차시별 강의

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1. 비디오 Introduction URL
2. 비디오 Biomimetics URL
3. 비디오 UV Lithography URL
비디오 UV Lithography URL
4. 비디오 Advanced Lithography URL
5. 비디오 C-MEMS URL
6. 비디오 Advanced Lithography URL
7. 비디오 Advanced Lithography URL
비디오 Dry Etching-General Principles URL
비디오 Dry Etching-General Principles URL
8. 비디오 Si Crystal Growth, Crystal Oreintation, Oxidation and Intreface Defects URL
9. 비디오 Wet Bulk Micromachining URL
10. 비디오 Physical and chemical Vapor deposition URL
비디오 LIGA URL
비디오 Physical and chemical Vapor deposition URL
11. 비디오 Surface Micromachining URL
비디오 Surface Micromachining URL

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