나노시스템공정

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나노시스템공정

부산대학교
정명영

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주제분류

공학 >정밀ㆍ에너지 >나노공학
강의학기

2012년 1학기

조회수

1,248

메카트로닉스시스템 구현의 중요한 문제인 나노 마이크로 하이브리드 가공에서 물성의 영향에 관한 일반 기술 내용과 최신기술 내용을 교육함으로써 나노까지의 가공에 대한 현장감 있는 이론적 근거를 제공함을 목적으로, 가공에서 광/입자와 target의 상호작용, 광마이크로 머시닝 기술, 나노임프린트 기술, soft lithography 등의 원리 및 공정에 대한 지식을 제공한다.