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마이크로 시스템 설계 및 제작

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  • 주제분류
    공학 >기계ㆍ금속 >기계공학
  • 등록일자
    2009.10.28
  • 조회수
    6,221
  •  
이 교과목은 MEMS 공정을 이용한 소자의 제작을 위한 설계 및 제작 시 필요한 세부 고려사항 및 그 방법에 관한 내용으로 구성된다.
MEMS Fabrication Fundamentals
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