나노박막공학
- 세종대학교
- 이내성
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- 주제분류
- 공학 >산업 >산업공학
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- 강의학기
- 2013년 1학기
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- 조회수
- 11,744
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나노미터 두께의 박막재료는 기존의 재료로서는 얻을 수 없는 우수한 특성 (low weight, variable properties, unique crystal structures, new properties, energy saving, cost saving, small dimensional requirements)이 있어 산업분야에서 많이 응용이 되고 있다. 본 과목에서는 박막 장비 및 성장에 필수적인 이론인 gas kinetics, plasma, vacuum technology 등과 PVD, CVD의 여러 가지 박막성장 process에 대해 다루고 박막성장 mechanism, characterization 등에 대해 강의한다.
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