ULSI공정기술

강의상세

초고집적회로에서 필수적인 반도체소자를 이해하기 위해 실리콘단결정성장, 웨이퍼가공, 산화막과질화막성장, 이온주입, 화학증기압증착의 금속접합공정, SOI 소자와 결절결함과 제어를 다루고 디스플레이산업의 첨단분야인 유기발광소자와 유기트랜지스터를 소개한다.

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