멤스 특론
- 전남대학교
- 이동원
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- 주제분류
- 공학 >기계ㆍ금속 >기계공학
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- 강의학기
- 2013년 1학기
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- 조회수
- 4,063
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MEMS 공정에 대한 기본적인 내용 및 MEMS 소자를 이해하며, 이를 자신의 관심 분야에 응용하여 새로운 MEMS 구조물을 고안해낼 수 있도록 한다.
차시별 강의
| 1. | |
강의 소개 | 강의 과정 및 내용 소개 |  |
| 2. | |
멤스의 정의 | 멤스 | |
| 3. | |
멤스 재료 | 멤스 재료 | |
| 4. | |
다비이스 설계 | 다비이스 설계 | |
| 5. | |
미세가공 공정 -1 | 미세가공 공정 | |
| 6. | |
미세가공 공정 -2 | 미세가공 공정 | |
| 7. | |
미세가공 공정 -3 | 미세가공 공정 | |
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