멤스기초
- 전남대학교
- 이동원
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- 주제분류
- 공학 >기계ㆍ금속 >기계공학
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- 강의학기
- 2012년 1학기
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- 조회수
- 3,536
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- 평점
- 5/5.0 (1)
본 강의에서는 멤스의 정의, 설계 및 제작 등에 관한 기초지식과 미래의 멤스기술과 관련한 활용방안 등을 폭넓게 다루고자함
차시별 강의
| 1. | |
멤스 소개 | 멤스 |  |
| 2. | |
반도체 소자 | 반도체 소자 | |
| 3. | |
반도체 소자 | 반도체 소자 | |
| 4. | |
기초 실리콘 공정 | 실리콘 공정 | |
| 5. | |
기초 실리콘 공정 | 실리콘 공정 | |
| 6. | |
표면 미세가공 | 표면 미세가공 | |
| 7. | |
벌크 미세가공 | 벌크 미세가공 | |
| 8. | |
소자 설계 | 소자 설계 | |
| 9. | FEM을 이용한 구조 최적화 | 구조 최적화 | ||
| 10. | 센서 및 적용 | 센서 및 적용 | ||
| 11. | 멤스 기초 실험 | 멤스 기초 실험 |
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