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주제분류
공학 >정밀ㆍ에너지 >재료공학
강의학기
2017년 1학기
조회수
45,349
평점
5/5.0 (2)
강의계획서
수강안내 및 수강신청
※ 수강확인증 발급을 위해서는 수강신청이 필요합니다
Introduction to Semiconductor Fabrication Processes
0.25
0.5
0.75
1.0
1.25
1.5
1.75
2.0
시작
종료
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차시별 강의
1.
Introduction to Semiconductor Fabrication Processes
Introduction and Historical Perspective 01
2.
Introduction and Historical Perspective 02
3D Integration / 반도체 관련 산업 01
3.
반도체 관련 산업 02 / Modern CMOS Technology
Active Region Formation(Isolation)
4.
Crystal Growth, Wafer Fabrication and Basic Properties of Silicon Wafers
Raw Materials, Purification / Wafer Preparation / Manufacturing Equipment / Semiconductor Manufacturing - Yield 01
5.
Semiconductor Manufacturing - Yield Clean Rooms, Wafer Cleaning 02
Clean Room
6.
Gettering
Photolithograghy
7.
Photoresist
Homework & Quiz 01
8.
Quiz 02 / Cleaning / Gate Oxidation
9.
Thermal Oxidation and the Si/Sio2 Interface / Hardware
10.
Sikicon Oxide
Oxidation Process
11.
Characterzation / Dopant Diffusion 01 / Ion Implantation 01
Dopant Diffusion 02 / Ion Implantation 02 / Hardware 01
12.
Hardware 01 / Evaluation
Thin film & 박막제조공학
13.
Wha is CVD / Thermal CVD - LPCVD . APCVD
Other Types of the CVD - PECVD , HDPCVD , MOCVD , ALD 01
14.
Other Types of the CVD - PECVD , HDPCVD , MOCVD , ALD 02 / Aplication of CVD Thin Films
Thin Films Deposition Part 2 / Physical Vapor Deposition
15.
Etching
Review
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사용자 의견
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rl********
2024-08-01 14:55
수업이 유익하고 재미있습니다.
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