1. | 마이크로시스템 소개 1 | 강의소개 | ||
마이크로시스템 소개 1 - 1 | ||||
마이크로시스템 소개 1 - 2 | ||||
2. | 마이크로시스템 소개 2 | 시스템소형화 개념 | ||
마이크로시스템 소개 2 - 1 | ||||
마이크로시스템 소개 2 - 2 | ||||
3. | 제작 내용 1 | 시스템소형화 1 | ||
제작 내용 1 (강의노트) | ||||
4. | 제작 내용 2 | 시스템소형화 2 | ||
제작 내용 2 (강의노트) | ||||
5. | 마이크로시스템 예 1 | 마이크로시스템 설계 example 1 | ||
마이크로시스템 예 1 (강의노트) | ||||
6. | 마이크로시스템 예 2 | 마이크로시스템 설계 example 2 | ||
마이크로시스템 예 2 (강의노트) | ||||
7. | 마이크로시스템 예 3 | 마이크로시스템 설계 example 3 | ||
8. | 중간 고사 | |||
9. | 마스크 설계 프로그램 사용 | L-edit 사용방법 및 마스크 설계주안점 | ||
마스크 설계 프로그램 사용 (강의노트) | ||||
10. | 포토리소그라피, 산화 및 스퍼터링 | 단위공정 1 | ||
포토리소그라피, 산화 및 스퍼터링 (강의노트) | ||||
11. | 코너 보상 패턴 설계 | 단위공정 2 | ||
코너 보상 패턴 설계 (강의노트) | ||||
12. | 팀 프로젝트 발표 | 멤스분야 주제 발표 | ||
13. | 공정 표 및 마스크 설계 | 압력센서 마스크 설계 | ||
14. | 마스크 및 소자 제작 | 단위공정 실험 1 | ||
15. | 소자 제작 1 | 단위공정 실험 2 | ||
16. | 소자 제작 2 | |||
17. | 소자 제작 3 |