반도체제조공학

세종대학교
이원준

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주제분류

공학 >정밀ㆍ에너지 >반도체학
강의학기

2023년 2학기

조회수

249

강의계획서

반도체 집적회로의 제조공정에 관하여 폭넓은 이해를 갖도록 하여 향후 반도체 분야의 산업계로 진출하거나 관련 연구를 수행하는데 도움이 되도록 합니다. 이를 위해 우선 반도체 산업의 역사 및 현황에 대해 알아보고, 집적회로 제조공정의 전체적인 흐름을 숙지한 다음, 제조공정을 구성하는 단위공정들(crystal growth, cleaning, lithography, oxidation, diffusion, ion implantation, thin film deposition, etching, back-end processing 등)에 대해서 공부합니다. 각 단위공정에 대해서 개념, 역사, 현재기술 및 향후발전방향의 순으로 살펴봅니다. 또한 Term Project를 통해 반도체집적회로 제조공정의 설계능력을 배양합니다.

수강안내 및 수강신청
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Introduction

차시별 강의

1.		Introduction
		Introduction and Historical Perspective
2.		Modern CMOS Technology
		Modern CMOS Technology
3.		CMOS Process Flow
		Fabrication and Basic Properties of Silicon Wafers
4.		Fabrication and Basic Properties of Silicon Wafers
		Clean Rooms, Wafer Cleaning, and Gettering
5.		Clean Rooms, Wafer Cleaning, and Gettering
6.		Lithography
		Lithography
7.		Thermal Oxidation and the Si/SiO2 Interface
		Thermal Oxidation and the Si/SiO2 Interface
8.		Dopant Diffusion, Ion Implantation
9.		Dopant Diffusion, Ion Implantation
		Dopant Diffusion, Ion Implantation
10.		Thin Film Deposition I
11.		Other Types of CVD - PECVD, HDPCVD, MOCVD, ALD
		Other Types of CVD / Thin Film Deposition II
12.		Thin Film Deposition II / Etching
		Etching
13.		Etching
		Interconnect
14.		Review