1. |
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반도체 공정 소개 1 |
반도체 집적회로(IC)의 소개와 역사, 소자의 종류 소개 |
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2. |
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반도체 공정 소개 2 |
반도체 집적회로(IC)의 제조공정 과정 순서와 wafer 공정 과정 소개 |
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3. |
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Si wafer 제작 |
반도체 집적회로 공정을 위한 Si wafer 제작 방법 |
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4. |
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Si wafering과 epi growth |
Si wafer의 제작 결함 분석, 제조과정과 박막 성장 방법 |
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5. |
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Epi growth 방법과 종류 |
여러 가지 박막 성장 방법과 그 종류들에 대한 설명 |
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6. |
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Photolithography 공정 순서 |
Photolithography 공정에 대한 전체 과정의 설명 |
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7. |
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Photoresist의 공정 |
Photoresist에 대한 특성과 공정 과정 설명 |
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8. |
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Photo mask와 aligner |
노광에 필요한 mask와 노광 장치의 종류와 원리 설명 |
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9. |
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Developing 공정 |
현상(developing)의 방법과 종류 및 photolithography 공정의 문제점 |
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10. |
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산화막 공정 |
SiO2 산화막의 공정 방법과 특성 설명 |
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