반도체나노공정 - 세종대학교 | KOCW 공개 강의

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반도체나노공정

세종대학교
정종완

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주제분류

공학 >정밀ㆍ에너지 >재료공학
강의학기

2015년 2학기

조회수

25,330
평점

5/5.0 (1)

강의계획서

반도체 소자를 실제로 제작하는 여러 가지 모듈 집적공정을 배움으로서 반도체 소자/제작의 개념을 심화시킨다.

수강안내 및 수강신청
※ 수강확인증 발급을 위해서는 수강신청이 필요합니다

1ch. Introduction

차시별 강의

1.		1ch. Introduction
		2ch. Crystal Growth
2.		3ch. Silicon Oxidation
		3ch. Silicon Oxidation(2)
3.		3ch. Silicon Oxidation(3)
		4ch. Lithography
4.		4ch. Lithography(2)
5.		5ch. Etching
6.		5ch. Etching(2)
		5ch. Etching(3)
7.		6ch. Diffusion
		6ch. Diffusion(2)
8.		6ch. Diffusion(3)
		6ch. Diffusion(4)
9.		7ch. Ion Implantation
		7ch. Ion Implantation(2)
10.		8ch. Thin Film
		8ch. Thin Film(2)
11.		8ch. Thin Film(3)
		8ch. Thin Film(4)
12.		8ch. Thin Film(5)
		8ch. Thin Film(6)
13.		9ch. Process Intergration
		9ch. Process Intergration(2)
14.		9ch. Process Intergration(3)
		9ch. Process Intergration(4)

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사용자 의견

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ct******* 2017-12-11 11:12: 안녕하세요. 세종대학교입니다. 정종완교수님 강의자료 관련하여 저작권 때문에 공개할 수 없는 점 양해 부탁드리겠습니다.

운영자2017-12-04 15:15: KOCW운영팀입니다. 강의자료에 대해 세종대학교로 다시 문의하였습니다. 다만 학교 및 교수자의 사정에 따라 답변이 늦거나 없을 수 있습니다. 이 점은 양해 부탁 드립니다.

wo***** 2017-12-03 19:39: 강의자료 ppt는 어떻게 하면 되나요?

운영자2017-03-13 10:00: KOCW운영팀입니다. 강의자료/ppt/제공에 대해 세종대학교로 문의하였습니다. 답변이 오는대로 안내드리도록 하겠습니다.

sh******* 2017-03-12 15:12: 혹시 강의자료를 다운받을수 있을까요?

운영자2017-02-27 10:18: KOCW운영팀입니다. 문의내용에 대해 세종대학교로 확인을 요청하였습니다. 답변이 오는대로 안내드리도록 하겠습니다.

kt***** 2017-02-25 10:59: 4ch. lithography 와 lithography2 강의 사이에 보강이 있었던것 같은데 그건 혹시 촬영이 안되었나요?

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※ 강의별로 교수님의 사정에 따라 전체 차시 중 일부 차시만 공개되는 경우가 있으니 양해 부탁드립니다.

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