반도체제조공학
- 세종대학교
- 정종완
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- 주제분류
- 공학 >정밀ㆍ에너지 >반도체학
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- 강의학기
- 2025년 2학기
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- 조회수
- 770
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- 강의계획서
- 강의계획서
반도체 소자의 제조를 위한 재료 및 가공공정에 대한 이론뿐만 아니라 산업화
기술에 대한 기초지식을 습득하는데 목적을 둔다. 이를 위해 웨이퍼 제조
공정, 반도체 소자의 가공을 위한 확산, 산화, 노광 및 이온 주입, 박막 증착
등의 단위 공정, 반도체 소자의 제작을 위한 종합공정 등에 대하여 강의한다.
또한 최근 반도체 소자 공정의 기술발전 추세와 전망에 대하여 다룬다
기술에 대한 기초지식을 습득하는데 목적을 둔다. 이를 위해 웨이퍼 제조
공정, 반도체 소자의 가공을 위한 확산, 산화, 노광 및 이온 주입, 박막 증착
등의 단위 공정, 반도체 소자의 제작을 위한 종합공정 등에 대하여 강의한다.
또한 최근 반도체 소자 공정의 기술발전 추세와 전망에 대하여 다룬다
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