바로가기

모두를 위한 열린 강좌 KOCW

주메뉴

반도체공정특론

  • 한국공학대학교
  • 류영선
  • 공유하기
  • 강의담기
  • 오류접수
  • 이용안내
강의사진
  • 주제분류
    공학 >정밀ㆍ에너지 >반도체학
  • 강의학기
    2022년 1학기
  • 조회수
    5,054
  • 평점
    5/5.0 (1)
강의계획서
강의계획서
반도체 소자 공정의 특성과 과정을 설명
반도체 공정 소개 1
배속
  • 이전차시
  • 다음차시

차시별 강의

PDF VIDEO SWF AUDIO DOC AX
1. 비디오 반도체 공정 소개 1 반도체 집적회로(IC)의 소개와 역사, 소자의 종류 소개 URL
2. 비디오 반도체 공정 소개 2 반도체 집적회로(IC)의 제조공정 과정 순서와 wafer 공정 과정 소개 URL
3. 비디오 Si wafer 제작 반도체 집적회로 공정을 위한 Si wafer 제작 방법 URL
4. 비디오 Si wafering과 epi growth Si wafer의 제작 결함 분석, 제조과정과 박막 성장 방법 URL
5. 비디오 Epi growth 방법과 종류 여러 가지 박막 성장 방법과 그 종류들에 대한 설명 URL
6. 비디오 Photolithography 공정 순서 Photolithography 공정에 대한 전체 과정의 설명 URL
7. 비디오 Photoresist의 공정 Photoresist에 대한 특성과 공정 과정 설명 URL
8. 비디오 Photo mask와 aligner 노광에 필요한 mask와 노광 장치의 종류와 원리 설명 URL
9. 비디오 Developing 공정 현상(developing)의 방법과 종류 및 photolithography 공정의 문제점 URL
10. 비디오 산화막 공정 SiO2 산화막의 공정 방법과 특성 설명 URL

연관 자료

loading..

사용자 의견

강의 평가를 위해서는 로그인 해주세요.
운영자2022-03-02 09:07
KOCW입니다. 한국공학대학교에서는 강의자료를 제공하지 않는 것이 원칙이라고 합니다. 양해 부탁드립니다.
vkfkstor56 2022-03-01 08:16
교재가 굳이 없어도 될 거 같긴 한데 혹시 올라올 수 있을까요??

이용방법

  • 동영상 유형 강의 이용시 필요한 프로그램 [바로가기]


    ※ 강의별로 교수님의 사정에 따라 전체 차시 중 일부 차시만 공개되는 경우가 있으니 양해 부탁드립니다.

이용조건