1. |
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박막공학의 소개01 |
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박막공학의 소개02 |
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2. |
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박막공학-진공01 |
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박막공학-진공02 |
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3. |
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박막공학-진공03,Pumping Speed 01 |
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박막공학-Pumping Speed 02, 진공 펌프01 |
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4. |
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박막공학-진공 펌프02,진공 시스템 01, Evacuation 01 |
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박막공학-Evacuation 02 Evaporation 01, |
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5. |
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박막공학-Evaporation 01, 플라즈마 기초 01 |
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박막공학-플라즈마 기초 02,Plasma Potential 01 ,Sheath Formation, at a Floating Subtrate |
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6. |
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박막공학-Plasma Potential 02,Langimuir Probe |
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7. |
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박막공학-DC Sputterting-Metals, Magnetron,Directional Deposition,RF Sputterting-Non Metals 01 |
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8. |
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박막공학-RF Sputterting-Non Metals 02, Etching 01 |
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박막공학-Etching 02 |
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9. |
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박막공학-Etching 03 & 04 |
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10. |
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박막공학-CVD 01 |
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박막공학-CVD 02, ALD 01 |
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11. |
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박막공학-ALD 02 CVD 03 |
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박막공학-Epitaxy,Poly-Si,PSG,CVD 04 |
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12. |
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박막공학-반도체배선용 박막 |
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13. |
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박막공학-CU 01 |
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박막공학-CU 02 |
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14. |
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박막공학-Metal Gate |
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